采用一体叠层型压电陶瓷结构,高温烧结而成,结构简单,工作可靠,叠层型压电陶瓷高速偏摆镜结构由电极层及压电介质层经多次叠加共同烧结成一体,外形结构环形,电极压部分位置相差 90 度,共四组电极结构,每组电极结构添加电场可独立产生位移,每组电极构成一组压电陶瓷,共组成四组叠堆压电陶瓷,当四组压电陶瓷同时产生位移时,台面产生 Z 向位移,当相对两支压电陶瓷一支升高一支降低输出台面产生 X 轴偏摆,另两支压电陶瓷也同方式驱动,压电陶瓷台面也会产生 Y 轴偏摆,由于无机械结构,压电陶瓷高速响应频率高,摆速快,可工作在微秒级别摆角速度。
产品特点
响应频率更高
体积小巧
可闭环控制
提供定制服务
技术参数
型号 | YG021003 | YG022612 |
输出轴方向 | Rx.Ry.z | Rx.Ry.z |
驱动电压范围 | -20~+150V | -20~+150V |
Rx.Ry 轴摆角范围 | ±0.1mrad±10% | ±0.5mrad±10% |
Z 向输出位移 | 2.8μm±10% | 10μm±10% |
外形尺寸 | Ф10xФ3x3mm±10% | Ф26xФ12x12mm±10% |
静态电容量 | 0.1μf±10% | 4μf±10% |
谐振频率 | 120kHz | 65kHz |
使用温度 | -60~130℃ | -60~130℃ |
居里温度 | 230℃ | 230℃ |
徐经理18995650972