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叠层型压电陶瓷驱动高速偏摆镜

时间:2023-08-15

采用一体叠层型压电陶瓷结构,高温烧结而成,结构简单,工作可靠,叠层型压电陶瓷高速偏摆镜结构由电极层及压电介质层经多次叠加共同烧结成一体,外形结构环形,电极压部分位置相差 90 ,共四组电极结构,每组电极结构添加电场可独立产生位移,每组电极构成一组压电陶瓷,共组成四组叠堆压电陶瓷,当四组压电陶瓷同时产生位移时,台面产生 Z 向位移,当相对两支压电陶瓷一支升高一支降低输出台面产生 X 轴偏摆,另两支压电陶瓷也同方式驱动,压电陶瓷台面也会产生 Y 轴偏摆,由于无机械结构,压电陶瓷高速响应频率高,摆速快,可工作在微秒级别摆角速度。

Ø  产品特点

响应频率更高

体积小巧

可闭环控制

提供定制服务

Ø  技术参数

型号

YG021003

YG022612

输出轴方向

Rx.Ry.z

Rx.Ry.z

驱动电压范围

-20~+150V

-20~+150V

Rx.Ry 轴摆角范围

±0.1mrad±10%

±0.5mrad±10%

Z 向输出位移

2.8μm±10%

10μm±10%

外形尺寸

Ф10xФ3x3mm±10%

Ф26xФ12x12mm±10%

静态电容量

0.1μf±10%

4μf±10%

谐振频率

120kHz

65kHz

使用温度

-60~130

-60~130

居里温度

230

230

Ø  注意事项

最大驱动电压范围:压电陶瓷需在给定电压内使用,超出负压使用范围压电陶瓷会反向极化,影响位移输出,超出正压使用范围会造成压电陶 瓷损坏;

位移迟滞:在同一个电压值下,上升曲线和下降曲线上的位移值有明显的位移差,且这个位移差会随着电压变化范围的改变而改变,驱动电压 越小则位移差也会相应越小,压电陶瓷的迟滞一般在给定电压对应位移值的 10%~15% 左右;

输出位移:电压输出 150V 时压电陶瓷所产生的最大位移值;

居里温度:陶瓷材料极化完成后所能承受最高温度,超出给定温度后,压电陶瓷会失去压电特性;

不同负载下测试数据会有波动

以上数据均在室温下测量所得

环形陶瓷叠堆压电陶瓷由一体单片烧结而成,红色引线为正极,黑色引线为负极,驱动压电陶瓷时切勿把正负极接反,接反会导致压电陶瓷反 向极化,从而影响位移输出

储存温度应小于 80℃,湿度应小于 50%


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